Seki Diamond Systems SDS5250M/SDS5250S/SDS6350

系统功能

• 高真空度的水冷金属腔体
• 适合高等离子密度的机动式水冷生长台
• 高等离子密度下保持稳定的生长 (5kW)
• 零硅污染
• 长时间超稳定等离子体
• 友好的用户介面 (SDS6350)
• SDS6350 - 计算机自动控制系统
• SDS5250S - 半自动系统
• SDS5250M - 手动操作系统

应用

• 量子器件及同位素控制合成金刚石
• 高纯度电子级材料
• 功率器件和电子元件
• 传感器和微机电系统
• 光学元件及光学级多晶金刚石薄膜
• 电子发射器件
• 光学窗口/镜片
• 电气学电极
• 宝石(实验室培育钻石)

SDS5250系列是一套高性能、高稳定性以及高重复性的金刚石膜生长设备,在单晶及多晶金刚石生长过程中提供高生长速率。因其独特的金属圆柱腔体设计，高功率及高密度的等离子体，因此可满足长时间高稳定的金刚石生长。这系统已被全球许多知名的学府及研究所采用，并广泛应用于不同厚度的金刚石薄膜生长。