Seki Diamond Systems SDS5200M/SDS5200S/SDS6300

系统功能

• 高真空度的水冷式金属腔体
• 高可靠性机动式射频感应加热平台
• 零硅污染
• 长时间超稳定性等离子体

应用

• 量子器件金刚石薄膜及同位素控制金刚石合成
• 高纯度电子级材料
• 功率器件和电子元件
• 传感器和微机电系统
• 光学元件及光学级多晶金刚石薄膜
• 电子发射器件
• 光学窗口/镜片
• 电化学电极

SDS5200系列是一套高性能、高稳定性以及高重复性的金刚石膜生长设备。提供手动，半自动或计算机控制操作。代表型号有5200M，5200S或6300。因其独特的金属圆柱腔体设计，高功率及高密度的等离子体，在不同的生长情况下，能生长高品质的金刚石膜。