Seki Diamond Systems SDS6500X

6 kW 微波辅助化学气相沉积系统

• 水冷式金属腔体及生长台
• 在大范围微波功率密度内，等离子球能保持高度稳定性
• 设有多角度观察窗，方便现场监察及诊断
• 友好的用户介面
• 可切换自动/手动操作并附带数据记录功能

应用

• 宝石（实验室培育金刚石）
• 光学元件及光学级多晶金刚石薄膜
• 超高硬度切割工具
• 半导体散热器
• 电化学用电极
• 高功率半导体元件
• 电子发射器件
• 量子传感器及微机电系统

Seki Diamond SDS 6500X是先进的沉积系统，专为生产高品质单晶及多晶金刚石而设计。适用于长时间生长，具有高稳定度高重复性等特点。掀盖式腔体设计便利操作及清洁，从而提高生产效率。可配置分子泵以提高真空度。